俄方要开发光刻机,达到EUV级别!外媒:ASML开始担心了!

​在冲突爆发后,美方对俄罗斯做出了芯片制裁的举措,一声令下,Intel、AMD、 台积电、三星等几乎所有主流厂商,都已全面停止与俄罗斯的业务往来。

不过俄罗斯并不担心如此被动的局面,现在突然决定要制造先进光刻机,所对标的就是ASML生产的EUV光刻机,这种一台能卖1.5亿欧元、核心技术都与美方相关联的光刻机。

俄方要开发光刻机,达到EUV级别!外媒:ASML开始担心了!

俄罗斯莫斯科电子技术学院日前宣布,接下了贸工部首批6.7亿卢布资金,将用于制造光刻机,而且号称要达到EUV级别,但路线是X射线技术,不需要光掩模就能生产芯片。

据了解,俄罗斯的技术方向与ASML生产的EUV完全不同,ASML采用的是极紫外光EUV,波长13.5nm,可以用于制造7nm及以下的先进工艺。

而俄罗斯研发的则是基于同步辐射加速器和等离子体源的无掩模X射线光刻机,使用的是X射线,波长介于0.01nm到10nm之间,比EUV极紫外光还要短。

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决定光刻机分辨率的主要因素有三点,分别是常数K、光源波长和物镜的数值孔径,波长越短分辨率越高,所以俄罗斯采用的X射线光刻机,理论上要比ASML EUV光刻机更好更先进。

同时X射线光刻机还有一个优势就是不需要光掩模版,可以直写光刻,所以这也省掉了很大一笔费用,正因为X射线和可直写光刻的优势,让当地媒体宣传为ASML也做不到的光刻机。

那么俄罗斯为何有如此底气挑战ASML EUV光刻机呢,那是因为早在上个世纪80年代,他们就已经在研究制造光源了。

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1984年俄罗斯开始研发同步辐射加速器,虽然在开展4年后就被暂停,但2002年又再次试运行,现在俄罗斯打算基于这些技术积累建设一个技术中心,并计划于2023年正式投入使用。

至于无掩模光刻技术,俄罗斯很早以前就已经开展了部分研究,所以从这些方面考虑,俄罗斯开发光刻机的计划也并非完全不靠谱,或许未来几年真的能够做成。

而该消息在被不少西方媒体报道之后,美方突然宣布冻结俄罗斯21家实体企业、13个人的在美资产,其中就包括俄罗斯最大的芯片制造商、微电子制造商和出口商Mikron。

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这一举动被外媒报道,认为ASML开始担心了,一旦俄罗斯成功研制出可比肩自家EUV光刻机的产品,那么全球先进光刻机市场将不再是ASML一家独大的局面。

外媒还表示,让ASML如此担心的不只是俄罗斯,还有来自中国的华为,因为前不久华为公布的一项芯片发明专利,或许不需要ASML EUV光刻机也能够做出行业领先的芯片。

目前一台EUV光刻机的均价在1.5亿欧元左右,相当于人民币10亿元,建设一条高端芯片生产线需要投入上百亿美元的资金,极大地提升了芯片的生产成本。

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台积电便是如此,虽然营收和净利润都在提升,但由于4nm、5nm的比重越来越高,导致台积电的利润率开始下滑,意味着芯片的生产成本确实提升了。

而华为公布的“一种芯片堆叠封装及终端设备”的发明专利,或许可能解决芯片成本昂贵的问题。

现在的高性能芯片几乎都是采用先进制程工艺,通过工艺换取性能升级,华为公布的方案是一种堆叠封装设计是通过堆叠换取性能,既然能够通过堆叠提升性能,那么先进工艺也就没有那么重要了。

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大陆晶圆代工厂中芯国际已掌握14nm工艺,并具备大规模生产的能力,如果华为能顺利研发出堆叠芯片,那么ASML EUV光刻机将不再是唯一提升芯片性能的方向。

正是基于这些原因,外媒认为ASML开始担心了,从这家企业近期的反应来看也确实如此,近日ASML发布了一款高数值孔径 (High-NA) EUV光刻机EXE:5000系列。

据了解,EXE:5000系列光刻机可以制造2nm芯片,不过价格也高得惊人,达到了3亿美元。

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最后希望俄罗斯的无掩模X射线光刻机和华为的堆叠芯片都能够做成功,这样就能够降低高性能芯片的高成本问题,也可以化解美方技术制裁的风险。对此你怎么看呢,欢迎评论、点赞、分享。

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王石头
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